电子工业用气体 四氟化碳
Gases for electronic industry-Tetrafluoromethane
国家标准计划《电子工业用气体 四氟化碳》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 核工业理化工程研究院华核新技术开发公司 。
主要起草人 周朋云 。
目录
1项目进度
- 网上公示
- 起草
- 征求意见
- 审查
- 批准
- 发布
2基础信息
- 计划号
- 20091224-T-469
- 制修订
- 制订
- 项目周期
- 24个月
- 下达日期
- 2009-12-15
- 实施日期
- 2014-07-01
- 中国标准分类号
- G86
- 国际标准分类号
- 71.100.20
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
核工业理化工程研究院华核新技术开发公司