电子工业用气体 三氟化氮
Gases for electronic industry - Nitrogen trifluoride
国家标准《电子工业用气体 三氟化氮》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 湖北沙隆达天门农化有限责任公司 、中国船舶重工集团公司第七一八研究所 、核工业理化工程研究院特气中心 、中核红华特种气体股份有限公司 、黎明化工研究院等 。
主要起草人 王少楠 、余启富 、宋再卿 、刘新明等 。
目录
1标准状态
- 发布于2007-12-14
- 执行于2008-07-01
- 废止于
2基础信息
- 标准号
- GB/T 21287-2007
- 发布日期
- 2007-12-14
- 实施日期
- 2008-07-01
- 中国标准分类号
- G86
- 国际标准分类号
- 71.100.20
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
湖北沙隆达天门农化有限责任公司