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电子工业用气体 三氟化硼

Gases for electronic industry - Boron trifluoride

国家标准 推荐性 现行

国家标准《电子工业用气体 三氟化硼》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 核工业理化工程研究院大连光明化工研究院西南化工研究设计院

主要起草人 邓建平倪志强孙福楠周鹏云

目录

1标准状态

  • 发布于2009-10-30
  • 执行于2010-05-01
  • 废止于

2基础信息

标准号
GB/T 14603-2009
发布日期
2009-10-30
实施日期
2010-05-01
全部代替标准
GB/T 14603-1993
中国标准分类号
G86
国际标准分类号
71.100.20
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准化管理委员会

3起草单位

4起草人

5相近标准(计划)

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