电子工业用气体 六氟化钨
Gases for electronic industry—Tungsten hexaflouride
国家标准《电子工业用气体 六氟化钨》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 中国船舶重工集团公司第七一八研究所 、厦门钨业股份有限公司 、西南化工研究设计院有限公司 、上海华爱色谱分析技术有限公司 、上海仪盟电子科技有限公司 。
主要起草人 郑秋艳 、江海风 、王占卫 、方兰兰 、林竹光 、王志信 、方华 、杨仁 、周鹏云 。
目录
1标准状态
- 发布于2015-12-31
- 执行于2016-07-01
- 废止于
2基础信息
- 标准号
- GB/T 32386-2015
- 发布日期
- 2015-12-31
- 实施日期
- 2016-07-01
- 中国标准分类号
- G86
- 国际标准分类号
- 71.100.20
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
中国船舶重工集团公司第七一八研究所