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电子工业用气体 三氟甲烷

Gas for electronic industry—Trifluoromethane

国家标准 推荐性 现行

国家标准《电子工业用气体 三氟甲烷》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 国家化学工业气体产品质量监督检验中心(福建)广东华特气体股份有限公司浙江巨化股份有限公司高麦仪器公司浙江省化工研究院中昊光明化工研究设计院有限公司大连大特气体有限公司上海华爱色谱分析技术有限公司东莞市联臣电子科技有限公司天津长芦华信化工股份有限公司西南化工研究设计院有限公司

主要起草人 陈熔林宇巍傅铸红杜汉盛叶红艳牛艳东史婉君孙福楠曲庆方华王鸿崔学文周朋云

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