Controlled Environments for Research or Production at the Nanometer Scale Planning and Design
国家标准计划《纳米尺度的科研、生产受控环境 规划与设计》由TC319(全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 江苏苏净科技有限公司 、中国电子工程设计院等 。
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