cleanrooms and associated controlled environments part 12:classification of air cleanliness by nnoscale particle concentration
国家标准计划《洁净室及相关受控环境 第12部分:按纳米尺度粒子浓度划分的空气洁净度等级》由TC319(全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 江苏苏净科技有限公司 、中国电子工程设计院等 。
20130222-T-469 洁净室及相关受控环境 第9部分:按粒子浓度划分表面洁净度等级
20154022-T-469 洁净室与相关受控环境 第8部分:按化学物浓度划分空气洁净度等级
GB/T 25915.1-2010 洁净室及相关受控环境 第1部分:空气洁净度等级
20154023-T-469 洁净室与相关受控环境 第10部分:按表面化学物浓度划分表面洁净度等级
GB/T 25915.5-2010 洁净室及相关受控环境 第5部分:运行
GB/T 25915.6-2010 洁净室及相关受控环境 第6部分:词汇
20080574-T-469 洁净室及相关受控环境 培训指南
20120348-T-469 洁净室及相关受控环境 节能指南
GB/T 36066-2018 洁净室及相关受控环境 检测技术分析与应用
GB/T 25915.8-2010 洁净室及相关受控环境 第8部分:空气分子污染分级