Cleanrooms and associated controlled environments - Part 6: Vocabulary
国家标准《洁净室及相关受控环境 第6部分:词汇》由424-cas(中国标准化协会)归口上报及执行,主管部门为国家质量监督检验检疫总局。
主要起草单位 苏州市洁净室科技促进中心 、中国电子学会洁净技术分会 、深圳市标准化研究院等 。
主要起草人 王尧 、陈刚 、缪德骅 、涂有 、乐细明等 。
GB/T 25915.5-2010 洁净室及相关受控环境 第5部分:运行
20080574-T-469 洁净室及相关受控环境 培训指南
20120348-T-469 洁净室及相关受控环境 节能指南
GB/T 36066-2018 洁净室及相关受控环境 检测技术分析与应用
GB/T 25915.1-2010 洁净室及相关受控环境 第1部分:空气洁净度等级
GB/T 25915.3-2010 洁净室及相关受控环境 第3部分:检测方法
GB/T 33556.1-2017 医院洁净室及相关受控环境应用规范 第1部分:总则
GB/T 25915.4-2010 洁净室及相关受控环境 第4部分:设计、建造、启动
GB/T 25915.8-2010 洁净室及相关受控环境 第8部分:空气分子污染分级
SN/T 3080.1-2012 洁净室和相关受控环境 生物污染控制 第1部分:通则和方法