硅基MEMS制造技术 版图设计基本规则
Silicon-based MEMS fabrication technology - The basic regulation of layout design
国家标准《硅基MEMS制造技术 版图设计基本规则》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 北京大学 、中机生产力促进中心 、中国电子科技集团第十三研究所 、中国科学院上海微系统与信息技术研究所 、西北工业大学 。
主要起草人 张大成 、王玮 、刘伟 、杨芳 、姜森林 、崔波等 。
目录
1标准状态
- 发布于2012-05-11
- 执行于2012-12-01
- 废止于
2基础信息
- 标准号
- GB/T 28274-2012
- 发布日期
- 2012-05-11
- 实施日期
- 2012-12-01
- 中国标准分类号
- L55
- 国际标准分类号
- 31.200
- 归口单位
- 全国微机电技术标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国微机电技术标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
3起草单位
4起草人
5相近标准（计划）
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