硅基MEMS制造技术 基于SOI硅片的MEMS工艺规范
Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the SOI wafer based MEMS process
国家标准《硅基MEMS制造技术 基于SOI硅片的MEMS工艺规范》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 西北工业大学 、中机生产力促进中心 。
主要起草人 苑伟政 、谢建兵 、李海斌 、乔大勇 、马志波 、常洪龙 、刘伟 。
目录
1标准状态
- 发布于2016-08-29
- 执行于2017-03-01
- 废止于
2基础信息
- 标准号
- GB/T 32814-2016
- 发布日期
- 2016-08-29
- 实施日期
- 2017-03-01
- 中国标准分类号
- L55
- 国际标准分类号
- 31.200
- 归口单位
- 全国微机电技术标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国微机电技术标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
3起草单位
4起草人
5相近标准（计划）
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