负责专业范围为半导体硅单晶及硅片生产及检测。
擅长专业为硅单晶及硅片生产及检测。
# | 计划号 | 项目名称 | 制修订 | 计划下达日期 | 项目状态 |
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1 | 20151791-T-469 | 硅抛光片表面颗粒测试方法 | X | 2015-08-18 | 正在审批 |
2 | 20151794-T-469 | 硅单晶抛光片 | X | 2015-08-18 | 正在审批 |
3 | 20151788-T-469 | 硅单晶切割片和研磨片 | X | 2015-08-18 | 正在审批 |
# | 标准号 | 标准中文名称 | 发布日期 | 实施日期 | 标准状态 |
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1 | GB/T 32280-2015 | 硅片翘曲度测试 自动非接触扫描法 | 2015-12-10 | 2017-01-01 | 现行 |
2 | GB/T 12962-2015 | 硅单晶 | 2015-12-10 | 2017-01-01 | 现行 |
3 | GB/T 29507-2013 | 硅片平整度、厚度及总厚度变化测试 自动非接触扫描法 | 2013-05-09 | 2014-02-01 | 现行 |
4 | GB/T 6621-2009 | 硅片表面平整度测试方法 | 2009-10-30 | 2010-06-01 | 现行 |
5 | GB/T 6624-2009 | 硅抛光片表面质量目测检验方法 | 2009-10-30 | 2010-06-01 | 现行 |