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徐新华

负责专业范围为半导体硅单晶及硅片生产及检测。

擅长专业为硅单晶及硅片生产及检测。

1标委会信息

委员会名称
TC203/SC2  全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
工作单位
上海合晶硅材料有限公司
委员会职务
委员
加入时间
2007-05-10

2涉及国标计划

# 计划号 项目名称 制修订 计划下达日期 项目状态
1 20151791-T-469 硅抛光片表面颗粒测试方法 X 2015-08-18 正在审批
2 20151794-T-469 硅单晶抛光片 X 2015-08-18 正在审批
3 20151788-T-469 硅单晶切割片和研磨片 X 2015-08-18 正在审批
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3涉及国家标准

# 标准号 标准中文名称 发布日期 实施日期 标准状态
1 GB/T 32280-2015 硅片翘曲度测试 自动非接触扫描法 2015-12-10 2017-01-01 现行
2 GB/T 12962-2015 硅单晶 2015-12-10 2017-01-01 现行
3 GB/T 29507-2013 硅片平整度、厚度及总厚度变化测试 自动非接触扫描法 2013-05-09 2014-02-01 现行
4 GB/T 6621-2009 硅片表面平整度测试方法 2009-10-30 2010-06-01 现行
5 GB/T 6624-2009 硅抛光片表面质量目测检验方法 2009-10-30 2010-06-01 现行
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