硅单晶抛光片

Monocrystalline silicon polished wafers

国家标准计划修订推荐性

国家标准计划《硅单晶抛光片》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位有研半导体材料有限公司、上海合晶硅材料有限公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司、浙江海纳半导体有限公司、浙江省硅材料质量检验中心、有色金属技术经济研究院、天津市环欧半导体材料技术有限公司。

主要起草人孙燕、卢立延、徐新华、张海英、楼春兰、杨素心、潘金平、张雪囡。