行业标准《溅射用钽靶材》由全国有色金属标准化技术委员会归口上报,主管部门为工业和信息化部。
主要起草单位 宁夏东方钽业股份有限公司 、有研亿金新材料有限公司 、宁波江丰电子材料股份有限公司等 。
主要起草人 钟景明 、李桂鹏 、汪凯等 。
备案号:50322-2015。
备案公告: 2015年第7号 。
本标准适用于以真空电子束熔炼的高纯钽锭为原料,通过塑性加工、热处理、机械加工、焊接等方法制造的溅射用钽靶材(以下简称钽靶材)
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