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溅射用钽靶材

行业标准-YS 有色金属 推荐性 现行

行业标准《溅射用钽靶材》由全国有色金属标准化技术委员会归口上报,主管部门为工业和信息化部。

主要起草单位 宁夏东方钽业股份有限公司有研亿金新材料有限公司宁波江丰电子材料股份有限公司等

主要起草人 钟景明李桂鹏汪凯等

目录

1标准状态

  • 发布于2015-10-01
  • 执行于2015-04-30
  • 废止于

2基础信息

标准号
YS/T 1024-2015
发布日期
2015-04-30
实施日期
2015-10-01
中国标准分类号
H63
国际标准分类号
77.150.99
归口单位
全国有色金属标准化技术委员会
主管部门
工业和信息化部
行业分类
制造业

3备案信息

备案号:50322-2015。

备案公告: 2015年第7号

4适用范围

本标准适用于以真空电子束熔炼的高纯钽锭为原料,通过塑性加工、热处理、机械加工、焊接等方法制造的溅射用钽靶材(以下简称钽靶材)

5起草单位

6起草人

7相近标准(计划)

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