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磁控溅射用钌靶

Magnetron sputtering ruthenium target

国家标准 推荐性 现行

国家标准《磁控溅射用钌靶》由TC243(全国有色金属标准化技术委员会)归口上报,TC243SC5(全国有色金属标准化技术委员会贵金属分会)执行,主管部门为中国有色金属工业协会。

主要起草单位 有研亿金新材料有限公司有色金属技术经济研究院

主要起草人 罗俊锋丁照崇李勇军向磊万小勇刘书芹熊晓东王庄贺昕滕海涛高岩

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