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平面磁控溅射靶材 光学薄膜用硅靶

行业标准-YS 有色金属 推荐性 现行

行业标准《平面磁控溅射靶材 光学薄膜用硅靶》由全国有色金属标准化技术委员会归口上报,主管部门为工业和信息化部。

主要起草单位 利达光电股份有限公司

主要起草人 李智超杨太礼等

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