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碳化硅单晶电学性能的测试方法

行业标准-SJ 电子 推荐性 现行

行业标准《碳化硅单晶电学性能的测试方法》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报,主管部门为工业和信息化部。

主要起草单位 中国电子科技集团公司第四十六研究所工业和信息化部电子工业标准化研究院

主要起草人 丁丽郑庆瑜蔺娴等

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