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碳化硅单晶晶向的测试方法

行业标准-SJ 电子 推荐性 现行

行业标准《碳化硅单晶晶向的测试方法》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。

主要起草单位 中国电子科技集团公司第四十六研究所 、工业和信息化部电子工业标准化研究院 。

主要起草人 丁丽 、郝建民 、周智慧等 。

目录

1标准状态

  • 发布于2015-10-01
  • 执行于2015-04-30
  • 废止于

2基础信息

标准号
SJ/T 11500-2015
发布日期
2015-04-30
实施日期
2015-10-01
中国标准分类号
H83
国际标准分类号
29.045
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
工业和信息化部
行业分类
无

3备案信息

备案号：50557-2015。

备案公告： 2015年第7号 。

4起草单位

5起草人

丁丽 郝建民 周智慧

6相近标准（计划）

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