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碳化硅单晶片微管密度的测定 化学腐蚀法

Test method for measuring micropipe density of monocrystalline silicon carbide wafers―Chemically etching

国家标准 推荐性 现行

国家标准《碳化硅单晶片微管密度的测定 化学腐蚀法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 中国电子科技集团公司第四十六研究所中国电子技术标准化研究院

主要起草人 丁丽周智慧郝建民蔺娴等

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