碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法
Nondestructive test method for micropipe density of polished monocrystalline silicon carbide wafers
国家标准《碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 北京天科合达蓝光半导体有限公司 、中国科学院物理研究所 。
主要起草人 陈小龙 、郑红军 、张玮 、郭钰 、刘振洲 。
目录
1标准状态
- 发布于2014-12-31
- 执行于2015-09-01
- 废止于
2基础信息
- 标准号
- GB/T 31351-2014
- 发布日期
- 2014-12-31
- 实施日期
- 2015-09-01
- 中国标准分类号
- H26
- 国际标准分类号
- 77.040.99
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
北京天科合达蓝光半导体有限公司