硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法
Test method for substitutional atomic carbon content of silicon by infrared absorption
国家标准《硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 峨嵋半导体材料厂 。
1标准状态
- 发布于1997-12-22
- 执行于1998-08-01
- 废止于2010-06-01
2基础信息
- 标准号
- GB/T 1558-1997
- 发布日期
- 1997-12-22
- 实施日期
- 1998-08-01
- 废止日期
- 2010-06-01
- 中国标准分类号
- H21
- 国际标准分类号
- 29.045
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
3起草单位
4起草人
5相近标准（计划）
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