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硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法

The method of determining interstitial oxygen content in silicon by infrared absorption

国家标准 推荐性 现行

国家标准《硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法》由610(中国有色金属工业协会)归口上报及执行,主管部门为中国有色金属工业协会。

主要起草单位 峨眉半导体材料厂

主要起草人 梁洪覃锐兵王炎

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