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砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法

Measuring thickness of epitaxial layers of gallium arsenide by infrared interference

国家标准 推荐性 现行

国家标准《砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法》由610(中国有色金属工业协会)归口上报及执行,主管部门为中国有色金属工业协会。

主要起草单位 北京有色金属研究总院

主要起草人 王彤涵

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