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短基线红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量

行业标准-SJ 电子 推荐性 现行

行业标准《短基线红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报,主管部门为工业和信息化部。

主要起草单位 信息产业专用材料质量监督检验中心工业和信息化部电子工业标准化研究院苏州晶瑞化学有限公司等

主要起草人 李静何秀坤刘兵等

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