电子工业用气体 氦
Gas for electronic industry - Helium
国家标准《电子工业用气体 氦》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 西南油气田分公司成都天然气化工总厂 、北京氦普北分气体工业有限公司 、西南化工研究设计院 。
主要起草人 刘泽军 、付永成 、赵俊秀 、周鹏云 。
1标准状态
- 发布于2009-10-30
- 执行于2010-05-01
- 废止于
2基础信息
- 标准号
- GB/T 16943-2009
- 发布日期
- 2009-10-30
- 实施日期
- 2010-05-01
- 全部代替标准
- GB/T 16943-1997
- 中国标准分类号
- G86
- 国际标准分类号
- 71.100.20
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
西南油气田分公司成都天然气化工总厂