电子工业用气体 锗烷
Gas for electronic industry—Germane
国家标准《电子工业用气体 锗烷》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 上海华爱色谱分析技术有限公司 、佛山市华特气体有限公司 、中昊光明化工研究设计院有限公司 、国家化学工业气体产品质量监督检验中心(福建) 、西南化工研究设计院 。
主要起草人 方华 、裴友宏 、郭秀丽 、林宇巍 、陈熔 、周鹏云 。
目录
1标准状态
- 发布于2015-09-11
- 执行于2016-05-01
- 废止于
2基础信息
- 标准号
- GB/T 31987-2015
- 发布日期
- 2015-09-11
- 实施日期
- 2016-05-01
- 中国标准分类号
- G86
- 国际标准分类号
- 71.100.20
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
上海华爱色谱分析技术有限公司