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锑化铟单晶位错蚀坑的腐蚀显示及测量方法

Standard method for showing andmeasuring dislocation etch pits in indium antimonide single crystal

国家标准 推荐性 现行

国家标准《锑化铟单晶位错蚀坑的腐蚀显示及测量方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 电子十一所

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