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蓝宝石单晶位错密度测量方法

Test method for dislocation density of sapphire single crystal

国家标准 推荐性 现行

国家标准《蓝宝石单晶位错密度测量方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 江苏协鑫软控设备科技发展有限公司中国科学院上海光学精密机械研究所深圳市中安测标准技术有限公司

主要起草人 薛抗美黄修康杭寅尹继刚田野张永波张毅

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