重掺硅衬底中氧浓度的二次离子质谱测量方法
行业标准《重掺硅衬底中氧浓度的二次离子质谱测量方法》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。
主要起草单位 信息产业专用材料质量监督检验中心 、工业和信息化部电子工业标准化研究院 、苏州晶瑞化学有限公司等 。
主要起草人 何友琴 、马农农 、何秀坤等 。
目录
1标准状态
- 发布于2015-10-01
- 执行于2015-04-30
- 废止于
2基础信息
- 标准号
- SJ/T 11498-2015
- 发布日期
- 2015-04-30
- 实施日期
- 2015-10-01
- 中国标准分类号
- H82
- 国际标准分类号
- 29.045
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 工业和信息化部
- 行业分类
- 无
3备案信息
备案号：50555-2015。
备案公告： 2015年第7号 。
4起草单位
5起草人
6相近标准（计划）
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