硅衬底上绝缘体薄膜厚度及折射率的椭圆偏振测试方法
行业标准《硅衬底上绝缘体薄膜厚度及折射率的椭圆偏振测试方法》由全国有色金属标准化中心归口上报，主管部门为工业和信息化部。
主要起草单位 中国计量科学研究院 、有研半导体材料股份有限公司等股份有限公司 。
主要起草人 高英 、武斌等 。
目录
1标准状态
- 发布于2013-03-01
- 执行于2012-11-07
- 废止于
2基础信息
- 标准号
- YS/T 839-2012
- 发布日期
- 2012-11-07
- 实施日期
- 2013-03-01
- 中国标准分类号
- H68
- 国际标准分类号
- 77.120.99
- 归口单位
- 全国有色金属标准化中心
- 主管部门
- 工业和信息化部
- 行业分类
- 无
3备案信息
备案号：38133-2013。
备案公告： 2013年第1号 。
4起草单位
5起草人
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