洁净室与相关受控环境 第10部分：按表面化学物浓度划分表面洁净度等级
Cleanrooms and Associated Controlled Environments Part10: Classification of surface cleanliness by chemical concentration
国家标准计划《洁净室与相关受控环境 第10部分：按表面化学物浓度划分表面洁净度等级》由TC319（全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 中国电子学会洁净技术分会等 。
目录
1项目进度
- 网上公示
- 起草
- 征求意见
- 审查
- 批准
- 发布
2基础信息
- 计划号
- 20154023-T-469
- 制修订
- 制订
- 项目周期
- 24个月
- 下达日期
- 2016-01-04
- 国际标准分类号
- 13.040.35
- 归口单位
- 全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
3起草单位
4采标情况
本标准等同采用ISO国际标准：14644-10:2013。
采标中文名称:按表面化学物浓度划分表面洁净度等级。
5相近标准（计划）
20130222-T-469 洁净室及相关受控环境 第9部分：按粒子浓度划分表面洁净度等级- 20154022-T-469 洁净室与相关受控环境 第8部分：按化学物浓度划分空气洁净度等级
- GB/T 25915.1-2010 洁净室及相关受控环境 第1部分：空气洁净度等级
- 20152020-T-469 洁净室及相关受控环境 第12部分：按纳米尺度粒子浓度划分的空气洁净度等级
- GB/T 25915.5-2010 洁净室及相关受控环境 第5部分：运行
- GB/T 25915.6-2010 洁净室及相关受控环境 第6部分：词汇
- 20080574-T-469 洁净室及相关受控环境 培训指南
- 20120348-T-469 洁净室及相关受控环境 节能指南
- GB/T 36066-2018 洁净室及相关受控环境 检测技术分析与应用
- 20100211-T-469 洁净室及相关受控环境 空气化学污染控制指南
