光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则
Guidelines for photomask defect classification and size definition
国家标准《光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 中国科学院微电子中心 。
目录
1标准状态
- 发布于1997-06-20
- 执行于1998-03-01
- 废止于
2基础信息
- 标准号
- GB/T 16880-1997
- 发布日期
- 1997-06-20
- 实施日期
- 1998-03-01
- 中国标准分类号
- L97
- 国际标准分类号
- 31.020
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
3起草单位
4起草人
5相近标准（计划）
GB/T 15871-1995 硬面光掩模基板- GB/T 34178-2017 光掩模石英玻璃基板
- GB/T 16524-1996 光掩模对准标记规范
- GB/T 15870-1995 硬面光掩模用铬薄膜
- GB/T 17866-1999 掩模缺陷检查系统灵敏度分析所用的特制缺陷掩模和评估测量方法准则
- GB/T 16523-1996 圆形石英玻璃光掩模基板规范
- 20120283-T-469 平板显示器掩模版缺陷术语
- JB/T 12424-2015 电气用热固性模塑制品可视缺陷定义及分类（SMC/BMC）
- JB/T 8758-1998 确定晶闸管参数值的准则
- SJ/T 31080-2016 光掩模制作用图形发生器完好要求和检查评定方法
