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硬面光掩模基板

Hard surface photomask substrates

国家标准 推荐性 现行

国家标准《硬面光掩模基板》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 长沙韶光微电子总公司 。

目录

1标准状态

  • 发布于1995-12-22
  • 执行于1996-08-01
  • 废止于

2基础信息

标准号
GB/T 15871-1995
发布日期
1995-12-22
实施日期
1996-08-01
中国标准分类号
L97
国际标准分类号
31.030
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准化管理委员会

3起草单位

4起草人

5相近标准（计划）

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