硅晶体间隙氧含量的红外吸收测量方法
The method of determining interstitial oxygen content in silicon by infrared absorption
国家标准计划《硅晶体间隙氧含量的红外吸收测量方法》由469-gj（国家标准委工业一部）归口上报及执行，主管部门为中国有色金属工业协会。
主要起草单位 峨嵋半导体材料厂 。
1项目进度
- 网上公示
- 终止
- 起草
- 征求意见
- 审查
- 批准
- 发布
2基础信息
- 计划号
- 20031798-T-610
- 制修订
- 修订
- 全部代替标准
- GB/T 1557-1989
- 归口单位
- 国家标准委工业一部
- 执行单位
- 国家标准委工业一部
- 主管部门
- 中国有色金属工业协会
3起草单位
4采标情况
本标准修改采用其他国际标准：ASTM F 1188；SEMI M 44-0301。
采标中文名称:用红外吸收法测试硅间隙氧原子含量的方法；硅中间间隙氧的转换因子指南。
5相近标准（计划）
20151786-T-469 硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法- GB/T 1557-2006 硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法
- GB/T 14144-2009 硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法
- SJ/T 10625-1995 锗单晶中间隙氧含量的红外吸收测量方法
- SJ/T 11491-2015 短基线红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量
- SJ/T 10627-1995 通过测量间隙氧含量的减少表征硅片氧沉淀特性的方法
- JB/T 9495.6-1999 光学晶体光吸收系数测量方法
- 20153611-T-605 钒氮合金 氧含量的测定 红外线吸收法
- GB/T 24583.7-2009 钒氮合金 氧含量的测定 红外线吸收法
- YB/T 4305-2012 钢铁及合金 氧含量的测定 惰性气体熔融-红外吸收法
