The reliability test methods of MEMS in integrated environments
国家标准计划《微机电系统(MEMS)技术 可靠性综合环境测试方法》由TC336(全国微机电技术标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 中机生产力促进中心 。
GB/T 26111-2010 微机电系统(MEMS)技术 术语
GB/T 26112-2010 微机电系统(MEMS)技术 微机械量评定总则
GB/T 34898-2017 微机电系统(MEMS)技术 MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法
GB/T 26113-2010 微机电系统(MEMS)技术 微几何量评定总则
GB/T 34899-2017 微机电系统(MEMS)技术 基于拉曼光谱法的微结构表面应力测试方法
20171124-T-469 微机电系统(MEMS)技术 薄膜张力特性条带弯曲试验方法
GB/T 34894-2017 微机电系统(MEMS)技术 基于光学干涉的MEMS微结构应变梯度测量方法
GB/T 34900-2017 微机电系统(MEMS)技术 基于光学干涉的MEMS微结构残余应变测量方法
GB/T 34893-2017 微机电系统(MEMS)技术 基于光学干涉的MEMS微结构面内长度测量方法
20111137-T-604 振动-温度-湿度综合环境试验系统