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微机电系统（MEMS）技术 基于拉曼光谱法的微结构表面应力测试方法

Micro-electromechanical system technology—Measuring method of microstructure surface stress based on Raman spectroscopy

国家标准 推荐性 现行

国家标准《微机电系统（MEMS）技术 基于拉曼光谱法的微结构表面应力测试方法》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 中北大学 、中机生产力促进中心 。

主要起草人 石云波 、唐军 、程红兵 、崔建功 、李海斌 、朱悦 。

目录

1标准状态

  • 发布于2017-11-01
  • 执行于2018-05-01
  • 废止于

2基础信息

标准号
GB/T 34899-2017
发布日期
2017-11-01
实施日期
2018-05-01
中国标准分类号
L55
国际标准分类号
31.200
归口单位
全国微机电技术标准化技术委员会
执行单位
全国微机电技术标准化技术委员会
主管部门
国家标准化管理委员会

3起草单位

4起草人

石云波 唐军 李海斌 朱悦 程红兵 崔建功

5相近标准（计划）

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