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微机电系统（MEMS）技术 术语

Micro-electromechanical system technology - Terms

国家标准 推荐性 现行

国家标准《微机电系统（MEMS）技术 术语》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 中机生产力促进中心 、中国电子科技集团第13研究所 、清华大学 、上海交通大学 、中北大学等 。

主要起草人 丁红宇 、刘伟 、张苹 、崔波等 。

目录

1标准状态

  • 发布于2011-01-10
  • 执行于2011-10-01
  • 废止于

2基础信息

标准号
GB/T 26111-2010
发布日期
2011-01-10
实施日期
2011-10-01
中国标准分类号
L55
国际标准分类号
31.200
归口单位
全国微机电技术标准化技术委员会
执行单位
全国微机电技术标准化技术委员会
主管部门
国家标准化管理委员会

3起草单位

4起草人

丁红宇 刘伟 张苹 崔波

5相近标准（计划）

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