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表面化学分析 深度剖析 AES和XPS深度剖析时离子束对准方法及其束流或束流密度测量方法

Surface chemical analysis—Depth profiling—Methods for ion beam alignment and the associated measurement of current or current density for depth profiling in AES and XPS

国家标准 推荐性 即将实施

国家标准《表面化学分析 深度剖析 AES和XPS深度剖析时离子束对准方法及其束流或束流密度测量方法》由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 中国计量科学院 。

主要起草人 王海 、王梅玲 、张艾蕊 、宋小平 。

目录

1标准状态

  • 发布于2017-09-29
  • 执行于2018-08-01
  • 废止于

2基础信息

标准号
GB/T 34326-2017
发布日期
2017-09-29
实施日期
2018-08-01
中国标准分类号
G04
国际标准分类号
71.040.40
归口单位
全国微束分析标准化技术委员会
执行单位
全国微束分析标准化技术委员会
主管部门
国家标准化管理委员会

3起草单位

4起草人

王海 王梅玲 张艾蕊 宋小平

5相近标准（计划）

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