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表面化学分析 溅射深度剖析 用层状膜系为参考物质的优化方法

Surface chemical analysis-Sputter depth profiling-Optimization using layered systems as reference materials

国家标准 推荐性 现行

国家标准《表面化学分析 溅射深度剖析 用层状膜系为参考物质的优化方法》由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 清华大学电子工程系 。

主要起草人 查良镇 、陈旭 、王光普 、黄雁华 、黄天斌 、刘林等 。

目录

1标准状态

  • 发布于2006-03-27
  • 执行于2006-11-01
  • 废止于

2基础信息

标准号
GB/T 20175-2006
发布日期
2006-03-27
实施日期
2006-11-01
中国标准分类号
N33
国际标准分类号
71.040.40
归口单位
全国微束分析标准化技术委员会
执行单位
全国微束分析标准化技术委员会
主管部门
国家标准化管理委员会

3起草单位

4起草人

查良镇 陈旭 黄天斌 刘林 王光普 黄雁华

5相近标准（计划）

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