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表面化学分析 深度剖析 溅射深度测量

Surface chemical analysis - Depth profiling - Measurment of sputtered depth

国家标准 推荐性 现行

国家标准《表面化学分析 深度剖析 溅射深度测量》由TC38(全国微束分析标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 中山大学浙江大学中国科学院大连化学物理研究所

主要起草人 陈建张训生谢方艳龚力张卫红盛世善

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