硅单晶抛光试验片规范
Specification for polished test silicon wafers
国家标准《硅单晶抛光试验片规范》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 宁波立立电子股份有限公司 、杭州海纳半导体有限公司 。
主要起草人 宫龙飞 、何良恩 、许峰 、黄笑容等 。
目录
1标准状态
- 发布于2011-01-10
- 执行于2011-10-01
- 废止于
2基础信息
- 标准号
- GB/T 26065-2010
- 发布日期
- 2011-01-10
- 实施日期
- 2011-10-01
- 中国标准分类号
- H80
- 国际标准分类号
- 29.045
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
宁波立立电子股份有限公司