电子工业用气体 磷化氢
Gas for electronic industry - Phosphine
国家标准《电子工业用气体 磷化氢》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 中国计量科学研究院 、西南化工研究设计院 、大连光明化工研究院 。
主要起草人 周泽义 、孙福楠 、周鹏云 。
目录
1标准状态
- 发布于2009-10-30
- 执行于2010-05-01
- 废止于
2基础信息
- 标准号
- GB/T 14851-2009
- 发布日期
- 2009-10-30
- 实施日期
- 2010-05-01
- 全部代替标准
- GB/T 14851-1993
- 中国标准分类号
- G86
- 国际标准分类号
- 71.100.20
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
中国计量科学研究院