集成电路制造设备术语
Terminology for integrated circuit（IC）manufacturing equipment
国家标准计划《集成电路制造设备术语》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 中国电子技术标准化研究院 。
目录
1项目进度
- 网上公示
- 起草
- 征求意见
- 审查
- 批准
- 发布
2基础信息
- 计划号
- 20174085-T-469
- 制修订
- 制订
- 项目周期
- 24个月
- 下达日期
- 2018-01-09
- 国际标准分类号
- 31
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
3起草单位
4投票情况
- 投票日期
- 2017-08-22~2017-09-15
- 通过率
- 75.42%
5相近标准（计划）
GB/T 9178-1988 集成电路术语- SJ/T 10152-1991 集成电路主要工艺设备术语
- GB/T 12842-1991 膜集成电路和混合膜集成电路术语
- 20153727-T-469 集成电路制造中套刻检测图形规范
- DB31/ 506-2010 集成电路晶圆制造能耗限额
- GB/T 2900.66-2004 电工术语 半导体器件和集成电路
- GB/T 14113-1993 半导体集成电路封装术语
- SJ/T 11566-2016 集成电路自动冲切成型设备
- GB/T 20515-2006 半导体器件 集成电路 第5部分：半定制集成电路
- GB/T 8976-1996 膜集成电路和混合膜集成电路总规范
