集成电路主要工艺设备术语
行业标准《集成电路主要工艺设备术语》，主管部门为电子工业部。
目录
1标准状态
- 发布于1991-07-01
- 执行于1991-04-02
- 废止于
2基础信息
- 标准号
- SJ/T 10152-1991
- 发布日期
- 1991-04-02
- 实施日期
- 1991-07-01
- 主管部门
- 电子工业部
- 行业分类
- 无
3备案信息
备案号：2355-1992。
4相近标准（计划）
GB/T 9178-1988 集成电路术语- 20174085-T-469 集成电路制造设备术语
- GB/T 12842-1991 膜集成电路和混合膜集成电路术语
- GB/T 2900.66-2004 电工术语 半导体器件和集成电路
- GB/T 14113-1993 半导体集成电路封装术语
- YZ/T 0044-2001 邮件处理中心主要工艺设备配置标准 机械设备部分
- SJ/T 11566-2016 集成电路自动冲切成型设备
- GB/T 20515-2006 半导体器件 集成电路 第5部分：半定制集成电路
- GB/T 8976-1996 膜集成电路和混合膜集成电路总规范
- GB/T 13062-1991 膜集成电路和混合膜集成电路空白详细规范(可供认证用)
