行业标准《电子薄膜用高纯钨及钨合金溅射靶材》由全国有色金属标准化技术委员会归口上报,主管部门为工业和信息化部。
主要起草单位 宁波江丰电子材料股份有限公司 、有研亿金新材料有限公司 、北京天龙钨钼科技股份有限公司等 。
主要起草人 姚力军 、王学泽 、丁照崇等 。
备案号:50323-2015。
备案公告: 2015年第7号 。
本标准适用于电子薄膜用高纯钨及钨合金溅射靶材,以下简称高纯钨及钨合金靶。
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