1标准状态

• 发布于1996-11-01
• 执行于1996-07-22
• 废止于

2基础信息

3备案信息

4相近标准（计划）

• GB/T 25184-2010  X射线光电子能谱仪检定方法
• GB/T 19500-2004  X-射线光电子能谱分析方法通则
• GB/T 21006-2007  表面化学分析 X射线光电子能谱仪和俄歇电子能谱仪 强度标的线性
• GB/T 22571-2017  表面化学分析 X射线光电子能谱仪 能量标尺的校准
• 20151802-T-469  表面化学分析 X射线光电子能谱 薄膜分析结果的报告
• GB/Z 32490-2016  表面化学分析 X射线光电子能谱 确定本底的程序
• GB/T 30704-2014  表面化学分析 X射线光电子能谱 分析指南
• GB/T 25188-2010  硅晶片表面超薄氧化硅层厚度的测量 X射线光电子能谱法
• GB/T 31470-2015  俄歇电子能谱与X射线光电子能谱测试中确定检测信号对应样品区域的通则
• GB/T 28632-2012  表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 横向分辨率测定