行业标准《俄歇电子能谱术语和X射线光电子谱术语的样品处理标准导则》,主管部门为电子工业部。
备案号:0063-1994。
JB/T 6976-1993 俄歇电子能谱术元素鉴定方法
GB/T 31470-2015 俄歇电子能谱与X射线光电子能谱测试中确定检测信号对应样品区域的通则
SJ/T 10457-1993 俄歇电子能谱术语深度剖析标准导则
GB/T 28632-2012 表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 横向分辨率测定
GB/T 25184-2010 X射线光电子能谱仪检定方法
GB/T 19500-2004 X-射线光电子能谱分析方法通则
GB/T 29556-2013 表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 横向分辨率、分析面积和分析器所能检测到的样品面积的测定
SJ/T 10714-1996 检查X射线光电子能谱仪工作特性的标准方法
GB/T 26533-2011 俄歇电子能谱分析方法通则
GB/T 35158-2017 俄歇电子能谱仪检定方法