晶片表面微粒沾污测量和计数的方法
行业标准《晶片表面微粒沾污测量和计数的方法》，主管部门为中国有色金属工业总公司。
目录
1标准状态
- 发布于1993-01-01
- 执行于1992-03-09
- 废止于
2基础信息
- 标准号
- YS/T 27-1992
- 发布日期
- 1992-03-09
- 实施日期
- 1993-01-01
- 主管部门
- 中国有色金属工业总公司
- 行业分类
- 无
3备案信息
备案号：1850-1992。
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