氮化镓外延片及衬底片通用规范
Generic specification for epitaxial wafers and substrates based on gallium nitride
国家标准计划《氮化镓外延片及衬底片通用规范》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 东莞市中镓半导体科技有限公司 、合肥彩虹蓝光科技有限公司 、苏州纳维科技有限公司 、南京大学电子科学与工程学院 、中国电子技术标准化研究院 。
主要起草人 丁晓民 、刘南柳 、潘尧波 、徐科 、修向前 、孙永健 、王香 、张国义 。
目录
1项目进度
- 网上公示
- 起草
- 征求意见
- 审查
- 批准
- 发布
2基础信息
- 计划号
- 20110049-T-469
- 制修订
- 制订
- 项目周期
- 24个月
- 下达日期
- 2011-10-12
- 中国标准分类号
- H83
- 国际标准分类号
- 29.045
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
3起草单位
4相近标准（计划）
GB/T 30856-2014 LED外延芯片用砷化镓衬底- 20151534-T-469 氮化镓衬底片载流子浓度的测试 拉曼光谱法
- GB/T 32188-2015 氮化镓单晶衬底片x射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法
- SJ/T 11275-2002 卧式液相外延系统通用规范
- GB/T 30861-2014 太阳能电池用锗衬底片
- GB/T 30855-2014 LED外延芯片用磷化镓衬底
- GB/T 31352-2014 蓝宝石衬底片翘曲度测试方法
- GB/T 31353-2014 蓝宝石衬底片弯曲度测试方法
- DB44/T 1328-2014 蓝宝石图形化衬底片测试技术规范
- GB/T 30854-2014 LED发光用氮化镓基外延片
