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蓝宝石晶体X射线双晶衍射摇摆曲线测量方法

Measurement method for X-ray double crystal diffraction rocking curve of sapphire crystals

国家标准 推荐性 现行

国家标准《蓝宝石晶体X射线双晶衍射摇摆曲线测量方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 中国科学院上海光学精密机械研究所 、上海大恒光学精密机械有限公司 、中国科学院新疆理化技术研究所 、新疆紫晶光电技术有限公司 、江苏浩瀚蓝宝石科技有限公司 、丹东新东方晶体仪器有限公司 。

主要起草人 杭寅 、徐民 、潘世烈 、张方方 、赵兴俭 、郭宏鹤 、赵松彬 。

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