玻璃衬底上纳米薄膜厚度测量触针式轮廓仪法

Measurement of nanofilm thickness on glass substrate—Profilometric method

国家标准推荐性现行

国家标准《玻璃衬底上纳米薄膜厚度测量触针式轮廓仪法》由TC279（全国纳米技术标准化技术委员会）归口上报，TC279SC1（全国纳米技术标准化技术委员会纳米材料分会）执行，主管部门为中国科学院。

主要起草单位中国建筑材料科学研究总院、漳州旗滨玻璃有限公司、宣城晶瑞新材料有限公司、冶金工业信息标准研究院、中国建材检验认证集团股份有限公司、中国建材检验认证集团（陕西）有限公司、广东中科华大工程技术检测有限公司、哈尔滨量具刃具集团有限责任公司量仪研究所。

主要起草人孟政、刘静、候英兰、徐勇、戴石锋、汪洪、梁慧超、张继军、张庆华、代铮、张卫星、赵晋武、郎岩梅。

孟政刘静戴石锋汪洪张庆华代铮郎岩梅候英兰徐勇梁慧超张继军张卫星赵晋武